早在50年代初，在試驗室采用高真空極純材料煉出含C＋N＜0.01％、25％Cr的高純鐵素體不銹鋼，這種鋼具有優良的室溫缺口韌性。1969年美國首次采用CRP法（真空感應爐與電子束聯合提純法）生產出C＋N≤0.001％的EB26-1鋼，即ASTM XM-27（我國于1975年試制成功），1979年日本采用真空感應爐與真空自耗爐雙聯工藝生產了高純Cr18Mo2鋼（我國于1980年采用真空感應爐生產）。這是兩類基本的具有代表性的高純高鉻鐵素體不銹鋼。

  高純高鉻（16～30％Cr）鐵素體不銹鋼常含有1～4％的鉬，以改善其耐非氧化性介質和點蝕、縫隙腐蝕等性能，對晶間腐蝕還起一定的延遲敏化的作用。C＋N總量的最大允許（臨界）含量，隨鋼種成分和用途要求而異。為避免晶間腐蝕所需控制的臨界含量比克服室溫脆性更嚴格（更低）。高純鐵素體不銹鋼在C＋N總含量極低時，經焊接或高溫固溶淬火處理后，可以消除晶間腐蝕敏感性（這與含中等以上碳氮含量的普通鐵素體不銹鋼不同，卻同奧氏體不銹鋼相似）。用貧鉻理論可以解釋這種表面似乎矛盾而本質相同的現象。但是，由于要求臨界含量很低（一般高純級的C＋N≤0.01～0.015％），在大規模工業生產上不是難以實現，就是價格昂貴。如在某些情況下為完全克服晶間腐蝕，嚴格要求C＋N應小于0.006％但仍存在冷卻速度效應和尺寸效應。除繼續采用大型真空感應爐生產外，已逐漸更多地采用爐外精煉技術和適當放寬控制含量，并輔以運用穩定化原理，添加鈦、鈮元素等。發展了超低碳氮（C＋N≤0.03％）和低碳氮（C＋N≤0.035～0.045％）高鉻鐵素體不銹鋼。在一定程度上能克服普通鐵素體不銹鋼的某些缺點和不足。如控制掌握好鋼材截面尺寸、熱處理冷卻速度和焊接工藝，是可以廣泛使用的。我國于1982年已采用爐外精煉方法批量生產低碳氮和超低碳氮鐵素體不銹鋼，獲得廣泛應用。